為了繼續(xù)和中國做生意，位于歐洲小國荷蘭的光刻機(jī)巨頭——阿斯麥爾，似乎表現(xiàn)得越來越“硬氣”了。

前段時間，在芯片逆全球化的敏感時刻，ASML首席財務(wù)官達(dá)森親自出面，硬剛了美國的新法規(guī)。達(dá)森指出：作為一家歐洲公司，ASML并不會接受美國芯片法規(guī)約束。話音未落，ASML果然加大了深紫外光刻機(jī)（DUV）的對華供應(yīng)規(guī)模。

要知道，在過去2年，ASML一直是大洋彼岸芯片政策的忠實執(zhí)行者。2019年，中芯國際遭受打壓，ASML馬上跟進(jìn)中斷了對中芯的EUV光刻機(jī)供應(yīng)。而在此之前，ASML也曾長期響應(yīng)歐美戰(zhàn)略，對中國買家奉行“無限拖延”的政策：訂貨可以，但貨啥時候能到，沒譜。

那么如今，阿斯麥爾為何突然敢于對美國說“不”了？來看一看ASML急于甩賣的DUV是什么，我們就知道了。

一、EUV和DUV的區(qū)別

在半導(dǎo)體制作過程中，光刻工藝承擔(dān)著將硅片加工為芯片的關(guān)鍵任務(wù)，一般來說，光刻工藝主要包含三個環(huán)節(jié)：

首先，以曝光方式，將先期設(shè)計好的電路圖形，從掩膜版縮放轉(zhuǎn)移至光刻膠；其次，通過顯影、蝕刻等不同方式，將電路圖形進(jìn)一步轉(zhuǎn)移并固定在硅片上；繼而，通過化學(xué)沖洗工序，將多余光刻膠清理干凈，最終形成電路紋理細(xì)密有序的芯片。

在整個曝光、涂膠、蝕刻過程中，光刻機(jī)本身的精度、分辨率，直接決定了芯片本身的性能。而從精度參數(shù)這一直觀維度考量，EUV光刻機(jī)可用來量產(chǎn)14nm以下的精密芯片，而DUV光刻機(jī)則僅能量產(chǎn)28nm以上的中低端芯片。

為什么DUV的量產(chǎn)精度不高呢？和光源有關(guān)。

DUV所應(yīng)用的深紫外光源，是通過透鏡聚焦光線，在硅片上刻蝕電路，總體原理與傳統(tǒng)攝影機(jī)的顯像技術(shù)類似；而EUV的極紫外光源，是通過特殊光源生成技術(shù)，直接操控極紫外光在硅晶片上雕刻。

由于光線波長更短、光的提取操作方式更細(xì)致，EUV光刻機(jī)可以做到對電路圖形更低倍率的精準(zhǔn)縮放，體現(xiàn)在芯片性能上，EUV加工的精密芯片，運(yùn)算速度可達(dá)到DUV加工芯片的100倍以上。

以迭代歷程計算，DUV光刻機(jī)落后了EUV整整一到兩代，這也ASML首席技術(shù)官那句“中國半導(dǎo)體落后二十年”的現(xiàn)實依據(jù)之一。

當(dāng)然，光源技術(shù)的不同，也暗藏了ASML無法向中國出口EUV的重要原因：

DUV的深紫外光源技術(shù)，由ASML獨(dú)立研發(fā)，所以它可以很瀟灑地“想賣就賣”，無需看美國臉色；而EUV光刻機(jī)的極紫外光源技術(shù)，全球只有一家企業(yè)能提供，這家企業(yè)叫西盟半導(dǎo)體設(shè)備公司，總部位于美國加州。

二、為何敢于說“不”？再不賺就沒了

拋開外部因素不談，此番ASML急于向我國出售DUV，也有著相當(dāng)緊迫的商業(yè)考量。

1、產(chǎn)業(yè)層面：DUV仍是市場主力

盡管EUV已經(jīng)和高端芯片產(chǎn)業(yè)深度綁定，但時至今日，DUV仍是當(dāng)前半導(dǎo)體制造的絕對主力。應(yīng)用DUV加工的粗制程芯片，占據(jù)了從軍事航天到工業(yè)制造的多數(shù)場合，比如號稱“最先進(jìn)戰(zhàn)機(jī)”的美國F22，使用的就是45nm制程芯片。

大多數(shù)場合下，DUV都能勝任使用需求，而在應(yīng)用DUV的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)方面，中國廠商早已是全球最大的設(shè)備進(jìn)口市場。按照2021年數(shù)據(jù)，ASML一年內(nèi)即接收中國大陸廠商近百臺DUV訂單，占DUV光刻機(jī)年度銷量的43%。這樣的買家，ASML無論如何也不想錯過。

2、技術(shù)層面：國產(chǎn)DUV漸入佳境

在國產(chǎn)光刻機(jī)研發(fā)方面，DUV也是最早取得突破的一個技術(shù)方向。自去年開始，上海微電子所已經(jīng)突破了90nmDUV光刻機(jī)制造技術(shù)，而2022年下半年，微電子所技術(shù)團(tuán)隊更是再接再厲，成功研發(fā)出國內(nèi)首臺28納米DUV光刻機(jī)。

要知道，上海微電子的DUV技術(shù)，是順著ASML浸沒式工藝（ArF）一路攻關(guān)下來的，而ArF的技術(shù)上限，甚至能支持7nm制程的芯片加工。所以ASML即便頂著美國壓力，也要趕緊把手里的DUV賣出去，這筆錢2022年不賺，2023年可能就沒得賺了！

三、結(jié)語

總體來看，ASML此次的“硬氣”就源自兩個原因：首先是DUV技術(shù)，ASML完全自主；其次，趁著中國本土的DUV產(chǎn)業(yè)尚未完全成型，趕緊清一清自家落后產(chǎn)品的庫存。

而這也正應(yīng)了倪光南那句話：核心技術(shù)買不來。外企賣給你的技術(shù)，永遠(yuǎn)是處于淘汰邊緣的落后技術(shù)！