12月12日，第十一屆福建青年創(chuàng)青春大賽總結(jié)交流活動(dòng)暨科技創(chuàng)新成果分享會(huì)在三明永安成功舉辦。本次大賽以“青春為中國(guó)式現(xiàn)代化挺膺擔(dān)當(dāng)”為主題，設(shè)置科技創(chuàng)新、數(shù)字經(jīng)濟(jì)、臺(tái)灣青年創(chuàng)業(yè)三大專項(xiàng)，共吸引1266個(gè)項(xiàng)目報(bào)名參賽，涵蓋人工智能、生物制造、生命健康、大數(shù)據(jù)、區(qū)塊鏈技術(shù)等多個(gè)前沿領(lǐng)域，涌現(xiàn)出一批科技含量高、市場(chǎng)潛力大、社會(huì)效益好的優(yōu)質(zhì)創(chuàng)新項(xiàng)目。

近日，集美大學(xué)先進(jìn)半導(dǎo)體級(jí)薄膜實(shí)驗(yàn)室“大面積高均勻性MPALD設(shè)備開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目獲得第十一屆福建青年創(chuàng)青春大賽決賽臺(tái)灣青年創(chuàng)業(yè)組一等獎(jiǎng)，其直擊7納米及以下先進(jìn)制程薄膜沉積的均勻性、穩(wěn)定性問(wèn)題，并進(jìn)一步應(yīng)用于鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備解決方案。實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人表示：“這份榮譽(yù)如同一束光，照亮了青年科技工作者在半導(dǎo)體裝備自主創(chuàng)新道路上跋涉的足跡，也讓我們所為之奮斗的技術(shù)理想獲得了前所未有的認(rèn)可?！?/p>

“自實(shí)驗(yàn)室誕生之日起，我們便確立了以‘工藝—設(shè)備雙輪驅(qū)動(dòng)’為核心的戰(zhàn)略，不僅要做設(shè)備，更要深入工藝本質(zhì)，解決從原理到應(yīng)用的完整鏈條問(wèn)題。我們深知，突破技術(shù)壁壘絕非易事，尤其是面對(duì)外延制造中至關(guān)重要的‘ ?? 11 ??? 13 cm ?3 高密度等離子體’技術(shù)高地。它如同半導(dǎo)體精密皇冠上的一顆明珠，我們立志要將其摘下?！闭劶绊?xiàng)目研發(fā)的初衷，實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人如是說(shuō)。目前，全球半導(dǎo)體行業(yè)正在快速向更高精度、更低功耗的技術(shù)節(jié)點(diǎn)發(fā)展，7納米及以下制程需求持續(xù)增長(zhǎng)。薄膜沉積技術(shù)在晶圓制造中扮演著關(guān)鍵角色，其均勻性、穩(wěn)定性和沉積速率直接影響芯片性能。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)對(duì)高效、低成本的薄膜沉積設(shè)備需求迫切，尤其是能夠替代國(guó)際巨頭產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)設(shè)備更是備受青睞。MPALD生長(zhǎng)氧化物、氮化物、碳化物等薄膜沉積技術(shù)正是這個(gè)解決方案的首選。

在實(shí)驗(yàn)室多年的研發(fā)實(shí)踐中，由青年科技骨干組成的團(tuán)隊(duì)積累了大量的技術(shù)成果和經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)，為持續(xù)向半導(dǎo)體裝備中“感生超高電子密度及其高活性自由基”這一更尖端的技術(shù)高峰攀登奠定了基礎(chǔ)。未來(lái)，實(shí)驗(yàn)室將繼續(xù)以技術(shù)為本，以創(chuàng)新為刃，與產(chǎn)業(yè)同仁一道，為提升中國(guó)半導(dǎo)體裝備的自主化與競(jìng)爭(zhēng)力貢獻(xiàn)熱忱與智慧。

來(lái)源：福建共青團(tuán)、福建青年 編輯：莫曉蘭 校對(duì)：韓穆穎 校審：余運(yùn)煒