作者 | 喬鈺杰

編輯 | 袁斯來

硬氪獲悉，近日，專攻原子力顯微鏡（AFM）探針研發(fā)的探真納米科技（衢州）有限公司完成新一輪股權(quán)融資，獲得衢州綠石新材料股權(quán)投資合伙企業(yè)（有限合伙）與杭州德甫股權(quán)投資有限責(zé)任公司共計(jì)超千萬元的投資。我們總結(jié)了本輪融資信息和該公司幾大亮點(diǎn)：

融資金額及投資機(jī)構(gòu)

融資輪次：Pre-A / A 輪

融資規(guī)模：千萬元

基金用途：將重點(diǎn)優(yōu)化探針的批量化制備工藝，提升產(chǎn)品穩(wěn)定性和良率。此外還將用于原子力顯微鏡（AFM）探針的全品類研發(fā)與新產(chǎn)線的布置。

公司基本信息

成立時(shí)間：2016年

注冊地址：浙江省衢州市

技術(shù)亮點(diǎn)：探真納米科技憑借其在微納加工領(lǐng)域多年的技術(shù)與工藝積累，通過基于干法刻蝕的創(chuàng)新微納加工工藝，實(shí)現(xiàn)了從晶圓起步的探針開發(fā)，在探針的曲率半徑、深寬比和使用壽命等關(guān)鍵指標(biāo)上已部分處于國際領(lǐng)先水平。今年年初，公司自主研發(fā)的AFM探針產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)上市銷售。

小球探針（圖源/企業(yè)）

市場空間

原子力顯微鏡（AFM）是納米科技、材料科學(xué)，半導(dǎo)體工業(yè)以及生命科學(xué)等諸多領(lǐng)域不可或缺的高精度檢測儀器，在半導(dǎo)體制造中，AFM承擔(dān)著“質(zhì)量把關(guān)”的角色，通過納米級別的探針對芯片進(jìn)行精密掃描，判斷工藝是否達(dá)標(biāo)。AFM探針作為原子力顯微鏡的核心消耗部件，使用頻率高且復(fù)購屬性強(qiáng)，但長期以來依賴進(jìn)口，價(jià)格高昂且供應(yīng)受限，在科研和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用中逐漸成為成本與供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)的來源。

TZ Edge系列邊緣探針（圖源/企業(yè)）

在半導(dǎo)體國產(chǎn)化和科研儀器自主可控背景下，AFM探針這一小體量、高附加值、高復(fù)購率的細(xì)分市場，正顯現(xiàn)出明確的國產(chǎn)替代空間，其國產(chǎn)化進(jìn)程還將帶動(dòng)相關(guān)配套產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。

團(tuán)隊(duì)背景

公司創(chuàng)始人崔波教授，本科畢業(yè)于北京大學(xué)物理系，博士畢業(yè)于普林斯頓大學(xué)電子工程系，曾在加拿大滑鐵盧大學(xué)擔(dān)任教授多年，從事微納加工領(lǐng)域研究近三十年的時(shí)間，近十余年持續(xù)專注于AFM探針的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化工作。2024年，崔波教授加入寧波東方理工大學(xué)，其課題組與公司在技術(shù)方向上保持深度協(xié)同，除了形貌檢測探針之外，圍繞導(dǎo)電探針、快速定位探針、金剛石探針、球形探針以及磁性探針等各種AFM探針持續(xù)進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)。

創(chuàng)始人問答

硬氪：目前國內(nèi)AFM 探針行業(yè)整體處于什么階段？您基于怎樣的產(chǎn)業(yè)環(huán)境決定回國創(chuàng)業(yè)？

崔波：目前國產(chǎn)原子力顯微鏡探針市場99%都是依賴進(jìn)口的。國內(nèi)有一些公司做改進(jìn)型的探針，比如在通用探針基礎(chǔ)上增加功能，但從晶圓開始做探針的只有我們在做。

選擇回國創(chuàng)業(yè)，一方面是國內(nèi)整體創(chuàng)業(yè)氛圍更為活躍，另一方面在融資、政策支持以及產(chǎn)業(yè)配套方面條件更加成熟。以金剛石探針為例，國內(nèi)可以找到多家成熟的金剛石薄膜供應(yīng)商，上下游配套更加完備。

硬氪：選擇干法刻蝕的微納加工工藝的核心優(yōu)勢是什么？

崔波：干法刻蝕的核心優(yōu)勢是更可控。濕法刻蝕探針的形狀是由硅的晶向決定的，不好調(diào)整，干法刻蝕可以根據(jù)不同的應(yīng)用場景調(diào)整探針的尖銳度等關(guān)鍵參數(shù)。干法刻蝕的成本原本要更高，最近這二十年干法刻蝕技術(shù)發(fā)展得非?？欤杀疽灿兴陆?，已經(jīng)可以達(dá)到替代濕法刻蝕的水平了。

硬氪：目前的客戶群體是怎么樣的？客戶反饋如何？

崔波：目前我們的客戶以科研院所為主，同時(shí)也覆蓋部分半導(dǎo)體廠商。其中，集成電路制造相關(guān)的大型半導(dǎo)體廠商仍處于測試和驗(yàn)證階段，在其他半導(dǎo)體領(lǐng)域，已實(shí)現(xiàn)一定規(guī)模的實(shí)際銷售。

整片晶圓（圖源/企業(yè)）

客戶選擇我們的主要原因在于性價(jià)比優(yōu)勢。相比國際頭部品牌，我們的價(jià)格低30%—40%，但在深寬比、針尖曲率半徑和使用壽命等指標(biāo)上，性能并不遜色，部分指標(biāo)甚至更優(yōu)。我們目前欠缺的就是穩(wěn)定性，但使用測試掃描圖像已經(jīng)沒問題了。

硬氪：AFM探針實(shí)現(xiàn)相當(dāng)比例的國產(chǎn)替代的難點(diǎn)在哪？

崔波：目前最大的挑戰(zhàn)在于品牌建設(shè)。很多用戶測試階段認(rèn)可國產(chǎn)產(chǎn)品的性能，但在實(shí)際采購時(shí)仍傾向于長期使用的國際品牌，例如Olympus、NanoWorld等，已經(jīng)形成了使用慣性。

從技術(shù)角度看，我并不太擔(dān)心。我們今年年初才開始銷售，現(xiàn)在大多數(shù)問題已經(jīng)解決了，還有一些次要問題，主要集中在良率和外觀一致性上，這些在未來半年內(nèi)是可以逐步改善的。但品牌信任的建立，可能需要更長的時(shí)間。