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瘋狂囤光刻機,DRAM雙雄在怕什么?

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2026年的半導體圈,正在上演一場現(xiàn)實版的“搶椅子”游戲。而攪動這場戰(zhàn)局的核心變量,正是AI引爆的存儲需求。

01
邏輯變了!存儲廠成EUV大買家

在這一輪游戲中,光刻機便是這把“椅子”。

近日,存儲芯片大廠SK海力士宣布將在2027年12月31日前向荷蘭ASML采購價值11.95萬億韓元(約79.7億美元)的極紫外光(EUV)光刻機,旨在應對日益增長的內存芯片需求。該交易已作為正式披露文件提交給韓國監(jiān)管機構,并成為近年來ASML客戶公開的最大一筆EUV光刻機采購訂單。

根據(jù)預計,SK海力士采購的這些EUV光刻機將主要用于先進DRAM芯片和HBM芯片的生產。主要會部署在兩個晶圓廠:一個是SK海力士位于龍仁的新晶圓廠,該晶圓廠計劃于2027年2月投產;另一個則是位于清州的M15X工廠,該晶圓廠專門用于生產高帶寬內存芯片。

伯恩斯坦公司的分析師戴維·道則預計,SK海力士的這份訂單將使得其在兩年內新增約30臺EUV光刻機。這略高于其之前預測的SK海力士兩年內將采購26臺EUV光刻機的數(shù)量。

無獨有偶,存儲龍頭三星也傳出了大舉采購光刻機的動作。韓國媒體Sedaily援引知情人士的消息報道稱,三星電子已確定向光刻機大廠ASML和佳能訂購了約70臺光刻機,總金額高達10萬億韓元(約67億美元),其中包含20臺EUV光刻設備。不過三星方面隨后回應稱,該消息并不屬實,公司至今尚未作出相關決策。

盡管三星的采購傳聞未得到證實,但這一消息本身就折射出當前半導體行業(yè)對光刻機的迫切需求。

02
決戰(zhàn)1c節(jié)點的勝負手,壓給光刻機

在探究三星、SK海力士兩大存儲龍頭大舉采購EUV光刻機的戰(zhàn)略邏輯前,需先系統(tǒng)梳理五大核心影響因素,這些因素直接決定了兩家企業(yè)的采購規(guī)模、節(jié)奏及行業(yè)后續(xù)格局:

第一,兩大巨頭當前EUV光刻機保有量。

第二,兩家公司1c DRAM現(xiàn)有產能基數(shù)、2026年底規(guī)劃產能的落地路徑及產能爬坡節(jié)奏。

第三,不同生產制造能力帶來的市場競爭力差異。

第四,ASML的EUV產能供給能力、交付周期及現(xiàn)有訂單積壓情況,能否匹配兩大龍頭的擴產需求。

第五,是否需要警惕2028年產能集中釋放導致的過剩風險?

以下是關于上述五點的具體分析:

存儲雙雄EUV光刻機保有量

日前,調研機構BOFA公布了2021到2025年為止的EUV光刻機數(shù)量,如下所示:



如圖所示,三星的EUV 光刻機持有量已超過SK海力士的兩倍,這一設備數(shù)量優(yōu)勢直接映射到產能層面——在存儲芯片制造中,光刻機部署密度是先進制程產能釋放的核心約束條件,而多層EUV光刻更是10nm級以下工藝量產的核心前提。2026年作為全球DRAM行業(yè)的“1c節(jié)點爆發(fā)年”,這場制程微縮競賽已全面邁入第六代10nm級1cDRAM時代,成為AI算力爆發(fā)背景下高端內存供給的核心戰(zhàn)場。

當下,三星和SK海力士都已釋放擴產1c DRAM的核心信息。

1c DRAM現(xiàn)有產能基數(shù)

根據(jù)規(guī)劃,三星1c DRAM產能將在2025年第四季度率先達到每月6萬片產能,2026年第二季度再新增8萬片產能,并于2026年第四季進一步擴增6萬片,屆時整體月產能達到20萬片。具體的時間節(jié)點以設備完成安裝為基準,目標是在上述各個階段具備立即量產條件。知情人士指出:“三星將在明年底前持續(xù)強化1c DRAM 的供給能力,意在提前卡位下一代市場?!?/p>

SK海力士方面,據(jù)韓國媒體報道,SK海力士計劃2026年將1c DRAM月產能從目前約2萬片300mm晶圓提升至16萬至19萬片,增幅達8至9倍,占其DRAM總產能的三分之一以上。據(jù)悉,SK海力士已將1c DRAM的良率提升至80%以上,該制程主要用于制造DDR5、LPDDR和GDDR7等最新通用DRAM產品。擴產后的1c DRAM將主要用于滿足英偉達等大型科技公司的訂單需求。這一戰(zhàn)略調整反映出AI推理應用對成本效益更高的通用DRAM需求激增,該公司正將戰(zhàn)略重心從HBM擴展至更廣泛的AI內存市場。

分析指出,相比需要復雜堆疊工藝的HBM,1c DRAM的生產效率更高,能夠更快速響應市場需求的爆發(fā)式增長。

HBM是3D堆疊+系統(tǒng)級集成方案,需通過TSV硅通孔、超薄減薄、多層鍵合及CoWoS等先進封裝技術,將多顆DRAM Die與基片垂直整合,技術鏈路極復雜。1cDRAM則是DRAM制程的迭代升級,核心是通過4F2單元架構、EUV曝光優(yōu)化實現(xiàn)單Die密度提升與良率改善,無需重構產線,直接復用現(xiàn)有DRAM成熟產線即可量產。

相較于HBM,1c DRAM 主打通用化、規(guī)模化供給,是AI服務器、移動終端的核心基礎,同時也是 HBM4/HBM4E 的最佳核心片。SK 海力士已明確,將基于第六代 10nm 級 1c 制程 32Gb DRAM 裸片打造 HBM4E 內存。三星同樣在推進相關布局,其研發(fā)的 12 層堆疊(12-Hi)、16 層堆疊(16-Hi)HBM4 產品,均會采用 1c DRAM 技術。

三星在2026年2月宣布,已率先達成HBM4的量產,并向全球最大AI芯片公司英偉達發(fā)貨。 該HBM4將搭載于英偉達最新Rubin GPU中。市場預計,Rubin GPU將于2026年下半年正式出貨,以供應給谷歌、亞馬遜等美國科技大廠,并帶來超過1萬億美元的市場規(guī)模。與此同時,三星也在配合Rubin GPU上市節(jié)奏,擴大華城H3 工廠17線,以及平澤P3、P4 工廠的HBM4 產能。

去年9月,SK海力士完成HBM4開發(fā),但隨后在去年12月,SK海力士宣布HBM4的量產已推遲至2026年3月或4月,HBM4產能大幅擴張的時間也進行了靈活調整。SK海力士決定至少在2026年上半年之前,保持HBM3E在所有HBM產品中最高的產量占比。據(jù)悉,SK海力士在與英偉達討論2026年HBM的產量時,大幅增加了HBM3E的產量。

不同生產制造能力帶來的市場競爭力差異

2025年第一季度,SK海力士占據(jù)了全球DRAM市場36%的份額,略高于三星電子的34%和美光的25%。這也是SK海力士自1983年成立以來首次在全球存儲器市場占據(jù)主導地位。

隨后在2025年第三季度,三星電子DRAM銷售額達到139.42億美元,環(huán)比增長29.6%,市場份額回升至34.8%,重新奪回行業(yè)榜首。同期SK海力士以137.9億美元的銷售額位居第二,市場份額為34.4%,與三星電子的差距僅為0.4個百分點。

三星電子業(yè)績的反彈,得益于是制造端兩大關鍵能力的集中釋放:一是HBM 高端產能的快速爬坡與精準交付。該公司第三季度HBM位單元出貨量環(huán)比激增85%,主要由于開始向英偉達交付第五代HBM3E產品。二是通用 DRAM 產能的彈性調控與價格主導力。人工智能數(shù)據(jù)中心對內存需求的爆發(fā)式增長,導致PC和智能手機等消費級IT設備的DRAM供應趨緊,進一步推高了產品價格。

ASML的EUV產能供給能力

反過來思考,SK 海力士敲定 30 臺 EUV 訂單、三星或可能采購 20 臺的情況下,ASML 的產能能否跟上?在此之前,先來看一組 ASML 歷年光刻機的出貨量數(shù)據(jù)。



上圖可見,2023年、2024年、2025年,ASML的EUV光刻設備數(shù)量分別為53臺、44臺和48臺。從這組數(shù)據(jù)中,首先能捕捉到兩個核心信息:一是ASML的EUV年出貨量始終維持在40-55臺的區(qū)間,產能釋放呈現(xiàn)“緩慢線性增長”的特征,并未出現(xiàn)爆發(fā)式提升——這與EUV設備的制造復雜度直接相關,一臺EUV集成超過12萬個高精度零部件,依賴德國蔡司的光學系統(tǒng)、美國Cymer的極紫外光源等全球獨家供應商,任何一個環(huán)節(jié)的產能瓶頸都會限制整體出貨。

二是2024年出貨量較2023年有所下滑,2025年雖有回升但未突破2023年峰值,這背后既有ASML產能調整的因素,也反映出前兩年行業(yè)擴產潮后,部分企業(yè)進入產能消化期,而2025年的回升則與AI驅動下高端存儲、先進邏輯芯片的需求復蘇直接相關。

SK海力士的采購計劃具備明確的產能落地支撐。上文提到,這批設備將分別部署在清州M15X工廠和在建的龍仁半導體集群,其中龍仁基地的首座潔凈室啟用時間已從2027年5月提前至2027年2月,與設備交付節(jié)奏高度匹配。若三星也計劃采購20臺EUV,且同樣計劃在2027年底前交付,那么SK海力士與三星的訂單合計將達到50臺,占ASML兩年產能的一半以上,這將大幅擠壓臺積電、英特爾等其他頭部客戶的產能配額。

還需注意的是,日前ASML在財報中寫道,截至2025年底,公司積壓在手訂單達388億歐元,其中EUV系統(tǒng)積壓訂單達255億歐元,占比65%。其中或許包含SK海力士的已下訂單,因此倘若三星和SK海力士均在當下向ASML追加大量EUV訂單,短期內也難以獲得充足的產能配額。

2028年,產能過剩?

據(jù)韓國媒體報道,三星內部預計本輪存儲短缺將于2028年前后趨于緩解,并據(jù)此校準投資節(jié)奏,以避免重蹈過度擴張的覆轍。與此同時,SK海力士亦多次公開表態(tài),將以實際需求而非樂觀預期作為擴產依據(jù)。然而EUV光刻機的產能存在硬約束,當下不搶購,未來幾年將徹底失去高端賽道的競爭力。

因此,三星與SK海力士當下大量采購EUV光刻機,與警惕2028年產能過剩并不矛盾。警惕2028年過剩,是著眼于遠期的風險防控;而現(xiàn)在搶購EUV,則是應對近期市場剛需、應對行業(yè)競爭、推進產品結構升級的必然選擇。

03
DRAM技術下一步,該搶什么?

長期以來,DRAM的密度提升高度依賴于制程微縮,這使得對EUV等高端光刻機的投入成為剛性需求。

隨著3D 堆疊存儲的發(fā)展,3D NAND 為提升存儲密度,將存儲單元垂直堆疊,層數(shù)不斷增加,目前主流產品已超過 300 層,未來還將向 1000 層邁進。DRAM未來也有類似的3D堆疊層數(shù)的技術路線圖。這種技術路徑的轉變,意味著廠商對光刻精度的極致追求將有所放緩,進而削弱對EUV光刻機的需求。

相應的對刻蝕設備的需求量和性能要求呈指數(shù)級增長,比如從 32 層提高到 128 層時,刻蝕設備用量占比從 35% 提升至 48%。此外,近存計算方案的發(fā)展增加了 TSV 刻蝕需求,TSV 工藝中刻蝕和填充設備占比接近 70%,進一步增加了刻蝕設備的需求。同時,3D NAND 堆疊層數(shù)不斷增加,每層薄膜厚度要求嚴苛,ALD 與 CVD 協(xié)同工藝成為主流,這都對薄膜沉積設備提出了更高要求。

因此,半導體制造的未來重點,或將從單純依靠光刻機縮小特征尺寸,轉向更復雜關鍵的刻蝕與薄膜沉積工藝。DRAM 對光刻機的依賴程度,也將明顯低于當前水平。

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