今天刷到一條新聞，說(shuō)今年頭兩個(gè)月，咱們從日本進(jìn)口的高端光刻膠，海關(guān)數(shù)據(jù)是零。不是少了，是真的一單都沒(méi)有。這玩意兒看著像一瓶普通膠水，其實(shí)沒(méi)它，中芯國(guó)際、華虹這些廠子的28納米以下產(chǎn)線，最多撐一兩個(gè)月就得慢下來(lái)，甚至停。

光刻膠不是隨便混點(diǎn)化學(xué)原料就行。日本那幾家，JSR、東京應(yīng)化、信越化學(xué)，搞這東西幾十年了，配方、設(shè)備、車(chē)間環(huán)境全自己造，連車(chē)間溫度波動(dòng)零點(diǎn)零零一度都不行。他們光專(zhuān)利就兩萬(wàn)多件，咱們抄都抄不明白，更別說(shuō)量產(chǎn)穩(wěn)定用了。

之前聽(tīng)說(shuō)韓國(guó)也試過(guò)自己搞，結(jié)果三年時(shí)間良率卡在65%，日本的能到99.5%。為啥？因?yàn)椴皇悄z本身的問(wèn)題，是它跟光刻機(jī)、涂膠機(jī)、整條工藝線“搭得上話”。咱們國(guó)產(chǎn)膠送去驗(yàn)證，光調(diào)參數(shù)就花了快四年。

不過(guò)現(xiàn)在也在動(dòng)真格了。國(guó)家“十五五”直接列為重點(diǎn)，撥了288億。上海、合肥、武漢建了三個(gè)中試基地，中芯國(guó)際還專(zhuān)門(mén)開(kāi)放了28納米產(chǎn)線，讓國(guó)產(chǎn)膠進(jìn)去實(shí)打?qū)嵟?。彤程新材的KrF膠已經(jīng)用在長(zhǎng)江存儲(chǔ)，北京科華也能小批量供貨了。南大光電的ArF膠，3月剛做完整片12英寸晶圓流片，良率82%。

還有一點(diǎn)挺實(shí)在的：咱們不硬剛EUV，先從成熟制程往下打，G線、I線膠已經(jīng)能自己做了，國(guó)產(chǎn)化率快到一半。再把上游的樹(shù)脂、光酸劑這些關(guān)鍵原料，武漢太紫微去年就攻克了，不用全靠日本進(jìn)口。

另外，和韓國(guó)、臺(tái)積電也在悄悄合作，一起繞開(kāi)日本原材料封鎖。越南、馬來(lái)西亞那邊的高純?nèi)軇查_(kāi)始往國(guó)內(nèi)運(yùn)。不是關(guān)起門(mén)來(lái)硬干，是邊打邊建新路。

日本信越化學(xué)去年還撤走了在華技術(shù)團(tuán)隊(duì)，以為我們立馬就亂。結(jié)果今年一季度，中芯國(guó)際用國(guó)產(chǎn)膠做28納米芯片，良率反而從78%升到83%，成本還降了18%。他們賣(mài)得越多，我們替換得越快。

這事兒沒(méi)那么玄乎，就是一層一層啃下來(lái)的。不是靠喊口號(hào)，是真有人去工廠盯產(chǎn)線，有人在實(shí)驗(yàn)室熬通宵調(diào)配方，有人跑海關(guān)、跑港口找替代原料。