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能卡我國(guó)脖子的芯片,是怎么生產(chǎn)出來(lái)的?我國(guó)被卡在哪了?

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能卡我國(guó)脖子的芯片,到底為什么這么難制造?我國(guó)到底卡在了哪個(gè)環(huán)節(jié),你知道嗎?



芯片,又稱為集成電路、微電路,是當(dāng)今世界最重要的精密元器件,廣義上包括邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、模擬芯片、射頻芯片等多種類型。它們廣泛應(yīng)用于手機(jī)、計(jì)算機(jī)、汽車、醫(yī)療設(shè)備、家用電器等場(chǎng)景,未來(lái)的機(jī)器人、低空經(jīng)濟(jì)的崛起,也離不開(kāi)芯片。

所有這些領(lǐng)域,要么是引領(lǐng)整個(gè)未來(lái)科技的,要么是和我們的生活息息相關(guān)的,其重要性都不言而喻。作為支撐它們發(fā)展的芯片,更是絕對(duì)不可或缺的技術(shù)。



了解計(jì)算機(jī)基礎(chǔ)的朋友都知道,別看計(jì)算機(jī)的功能非常豐富,其實(shí)說(shuō)到底,全都是通過(guò)二進(jìn)制的“1”和“0”實(shí)現(xiàn)的。而這個(gè)二進(jìn)制,則是通過(guò)海量的微電子開(kāi)關(guān)的“開(kāi)”和“關(guān)”來(lái)輸入信號(hào)的。這里提到的開(kāi)關(guān),就是晶體管。

芯片的尺寸是有限的,否則制造出來(lái)的設(shè)備就會(huì)極其笨重,失去了使用價(jià)值。芯片性能提升的核心在于晶體管密度的提升,也就是常說(shuō)的“制程工藝”,例如7nm、5nm、3nm等。也就是說(shuō),同樣大小的芯片,晶體管越小,容納的數(shù)量就越多,芯片性能也就越強(qiáng)。

這么說(shuō),是不是就好理解一點(diǎn)了?



基本原理懂了之后,我們就進(jìn)一步深入地了解一下,芯片到底是怎么造出來(lái)的。

制造芯片,需要一種重要的化學(xué)物質(zhì)——硅。由硅制成的半導(dǎo)體,是整個(gè)芯片的基礎(chǔ),就像是一座大樓的地基一樣,決定了整個(gè)建筑的穩(wěn)定性。通過(guò)其特殊的性質(zhì),技術(shù)人員可以精確控制其特定區(qū)域的導(dǎo)電性,從而制造出能夠開(kāi)關(guān)的
晶體管
。如果是絕緣體或者是優(yōu)良的導(dǎo)體,是無(wú)法實(shí)現(xiàn)這種精細(xì)控制的。



硅礦在被采集之后,會(huì)在一系列工藝之后被大幅提高純度,再經(jīng)過(guò)切片、拋光、清洗等流程,得到光滑、平整、無(wú)污染的晶圓表面,這一階段稱為“硅片制造”,是整個(gè)芯片的“地基”,后續(xù)的芯片就要在此基礎(chǔ)上制造。

不過(guò),芯片到底要做成什么樣的,需要購(gòu)買(mǎi)芯片的企業(yè)自行設(shè)計(jì)。比如蘋(píng)果、英偉達(dá)、高通、聯(lián)發(fā)科這樣的企業(yè),首先要按照代工企業(yè)的模式,設(shè)計(jì)好想要的芯片,把設(shè)計(jì)好的方案給到下游企業(yè)。



拿到這些方案后,芯片制造商就可以開(kāi)工了。

首先,相關(guān)廠商需要通過(guò)熱氧化的方式,在晶圓表面生長(zhǎng)一層極薄的二氧化硅膜,用作絕緣層或柵介質(zhì)。這個(gè)過(guò)程相當(dāng)于給晶圓表面“穿上絕緣衣”,隔開(kāi)不同功能區(qū),防止電流串?dāng)_。

接下來(lái),晶圓會(huì)經(jīng)歷薄膜沉積的過(guò)程,也就是在晶圓表面沉積各種功能薄膜,如導(dǎo)電層(金屬)、介電層(絕緣)或阻擋層。這一步,是用來(lái)在晶圓表面“堆材料”,形成導(dǎo)電、絕緣或屏蔽層,為電路構(gòu)建三維結(jié)構(gòu)打基礎(chǔ)。



第三步,就是光刻的過(guò)程,這是非常關(guān)鍵的一步,也是我國(guó)被卡脖子的關(guān)鍵一步。因?yàn)樾酒闹匾糠帧w管,并不是制造出來(lái)再安裝上去的,而是通過(guò)光刻的方式刻出來(lái)的。廠商會(huì)先在其表面涂上光刻膠,然后將電路圖案從掩模精確投影到晶圓表面的光刻膠層中。隨后通過(guò)曝光和顯影的過(guò)程,形成電路。

參與這一步的重要設(shè)備,叫光刻機(jī)。目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)廠商,就是荷蘭的阿斯麥(ASML),這是全球唯一的極紫外線(EUV)光刻機(jī)供應(yīng)商。幾乎所有7納米及以下的芯片晶圓,都必須通過(guò)這種設(shè)備才能生產(chǎn)出來(lái)。



這樣一臺(tái)機(jī)器,可以買(mǎi)到幾千萬(wàn)甚至好幾億美元!即便如此,由于卡脖子的因素,我們就算加錢(qián)買(mǎi),人家也不賣。所以,在光刻機(jī)方面盡快實(shí)現(xiàn)突破,是我國(guó)目前的重點(diǎn)之一。



第四步叫刻蝕,也就是去除未被光刻膠保護(hù)的材料部分,保留下圖案區(qū)域,屬于第三部的后續(xù)步驟。



第五步是離子注入 / 摻雜,主要是將雜質(zhì)原子(如硼、磷、砷)打入硅中,形成 n 型或 p 型區(qū)域,以調(diào)控晶體管電特性。

需要注意的是,這一系列過(guò)程不是一次性就能完全達(dá)到目的的,需要多次循環(huán)。因此,在第六步中,廠商還需要進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光,在多層工藝中使表面重新平整,為下一次光刻創(chuàng)造平面。

再然后,就是金屬互聯(lián),通過(guò)金屬布線把晶體管互相連接起來(lái),形成完整的電路網(wǎng)絡(luò),使得這些晶體管可以相互配合輸入或輸出指令。



最后一步,就是檢驗(yàn)與測(cè)量,也就是在各關(guān)鍵步驟之后檢測(cè)是否有缺陷、厚度誤差、圖案偏移等。

經(jīng)過(guò)多次的循環(huán)工序,芯片才能制作完成。不過(guò),這也只是完成了前端的工作。我國(guó)寶島著名的芯片生產(chǎn)企業(yè)臺(tái)積電,主要就是完成這個(gè)工作的。

要知道,芯片不是一枚一枚制造的,而是在同一塊晶圓上同時(shí)刻蝕大量的電路。在后端工序中,就需要對(duì)它進(jìn)行切割,才會(huì)形成一片片單獨(dú)的芯片。



在切割之后,還有鍵合、封裝成型以及測(cè)試等工序。鍵合就是給芯片加上引腳、封裝基板;封裝成型就是給芯片加上外殼;測(cè)試就是檢測(cè)功能、電性能、可靠性等。上述過(guò)程,合稱為封測(cè)。等到封測(cè)工作結(jié)束后,芯片就可以賣給下游企業(yè),焊接到各種設(shè)備上了。

在封測(cè)這一步,我國(guó)的大陸企業(yè)還是有一些比較優(yōu)秀的翹楚,在世界范圍內(nèi)也已經(jīng)達(dá)到先進(jìn)水準(zhǔn)了。



總的來(lái)說(shuō),我國(guó)受制約比較大的環(huán)節(jié),第一個(gè)是EDA工具,也就是用來(lái)設(shè)計(jì)先進(jìn)芯片的工具;第二個(gè)是光刻機(jī),即便是最先進(jìn)的自主光刻機(jī),和阿斯麥也有不止一代的差距,只能在成熟制程方面在國(guó)際上保持一定的競(jìng)爭(zhēng)力;光刻過(guò)程中用到的光刻膠、光刻氣體、顯影液等材料,我國(guó)同樣只能在高端之下有一定的競(jìng)爭(zhēng)力。

總之,芯片制造是一個(gè)十分復(fù)雜的工程,對(duì)于任何一個(gè)國(guó)家來(lái)說(shuō),以一己之力完成全產(chǎn)業(yè)鏈的領(lǐng)先,都是極其困難的。



但話說(shuō)回來(lái),這么難的事,如果天底下只有一個(gè)國(guó)家能實(shí)現(xiàn),大概也就是我國(guó)了吧。雖然道路依然曲折,終點(diǎn)依舊遙遠(yuǎn),但只要我們堅(jiān)持走下去,相信總有一天可以實(shí)現(xiàn)完全的獨(dú)立自主,領(lǐng)先全球。

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